SJ6000激光干涉仪

一.SJ6000激光干涉仪用途

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。

SJ6000激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。

SJ6000激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

二.SJ6000激光干涉仪性能特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

三.SJ6000激光干涉仪软件内置标准

四.SJ6000激光干涉仪技术参数

      系统性能

?    测量方式：单频

?    稳频精度：0.05ppm

?    动态采集频率：50 kHz

?    预热时间：5-10分钟

?    工作温度范围：0~38℃

?    环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%

?    存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

?    空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

?    空气湿度传感器：±6% (0-95%)

?    大气压力传感器：±0.1kPa

      线性测量

?    测量距离：0-40m

?    测量精度：0.5ppm (0-38℃)

?    测量分辨率：1nm

?    测量最大速度：3m/sec

      角度测量

?    轴向量程：0-15m

?    测量范围：±10°

?    测量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

?    测量分辨率：0.1″

      平面度测量

?    轴向量程：0-15 m

?    测量范围：±1.5 mm

?    测量精度：±（0.6%R+0.02 M²）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）

?    基板尺寸：50mm、100mm、150mm

测量分辨率：0.1μm

      直线度测量

?    轴向量程：0.1-4.0 m

?    测量范围：±3.5 mm

?    测量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）

?    测量分辨率：0.01μm

      垂直度测量

?    轴向量程：0.1-3.0 m

测量范围：±3.5mm

?    测量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

?    测量分辨率：0.01μm/m

      回转轴分度精度测量

?    角度测量范围：0-360°

?    精密转台角度增量：5°

?    精密转台分度精度：±1″

?    精密转台重复性：0.2″

五.SJ6000激光干涉仪标准配置

1)   SJ6000主机：1台

2)   环境补偿单元：1台

3)   光学镜组：

线性测量光学镜组：1套（标准配置）

小型线性光学镜组：1套（选配）

      小角度测量光学镜组：1套（选配）

      直线度测量光学镜组：1套（选配）

      垂直度测量光学镜组：1套（选配）

      平面度测量辅助附件：1套（选配）

回转轴测量精密转台：1套（选配）

4)   测量软件：1套

5)  便携式笔记本电脑：1台

6)  便携式仪器配件箱：1个

7)  通用三脚架：1个

8)  云台附件：1套

9)  磁性表座：2套

10)          产品使用说明书：1套

11)          产品合格证、保修卡：1套

12)          免费保修：1年

13)         校准证书（选配）

激光频率校准证书：

   1）由深圳市计量质量检测研究院出具；

   2）由其它机构出具。

环境补偿单元校准证书：
  1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
  2）由其它机构出具。
线性位移校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。
直线度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。
小角度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。