一.性能特点：

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3 软件界面友好

①  使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

二.产品功能：

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。

激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。

激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

三.技术参数：

      系统性能

2  测量方式：单频

2  稳频精度：0.05ppm

2  动态采集频率：50 kHz

2  预热时间：5-10分钟

2  工作温度范围：0~40℃

2  环境温度范围：0~40℃

2  存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

2  空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空气湿度传感器：±6% (0-95%)

2  大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

      线性测量

2  测量距离：0-40m

2  测量精度：0.5ppm (0-40℃)

2  测量分辨率：1nm

2  测量最大速度：4m/sec

      角度测量

2  轴向量程：0-15m

2  测量范围：±10°

2  测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2  测量分辨率：0.1μm/m

      直线度测量

2  轴向量程：0.1-4.0 m

2  测量范围：±2.5 mm

2  测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M² μm（M为光学镜移动距离，单位：m）

2  测量分辨率：0.01μm

      垂直度测量

2  测量范围：±3/M mm/m

2  测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2  测量分辨率：0.01μm/m

      平面度测量

2  轴向量程：0-15 m

2  测量范围：±1.5 mm

2  测量精度：±0.6% R±0.02 M² μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2  测量分辨率：0.1μm

      回转轴分度精度测量

2  角度测量范围：0-360°

2  精密转台角度增量：5°

2  精密转台分度精度：±1秒

2  精密转台重复性：0.2秒