中图激光干涉仪

一.中图激光干涉仪功能

中图激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

二.中图激光干涉仪工作原理

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉( 见图1) 。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

三.中图激光干涉仪显著特点

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

四.中图激光干涉仪技术参数

系统性能

? 测量方式：单频

? 稳频精度：0.05ppm

? 动态采集频率：50 kHz

? 预热时间：5-10分钟

? 工作温度范围：0~38℃

? 环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%

? 存储温度范围：-20℃~70℃

环境补偿示值误差

? 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

? 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

? 空气湿度传感器：±6% (0-95%)

? 大气压力传感器：±0.1kPa

线性测量

? 测量距离：0-40m

? 测量精度：0.5ppm (0-38℃)

? 测量分辨率：1nm

? 测量最大速度：3m/sec

五.中图激光干涉仪应用

1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为机床的修正提供可靠依据。

2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便。

3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上，取代原测长机的坐标系统，作为一般计量室中的长度基准。

4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器，可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统，使定位精度大为提高。

5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。

6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计，可作为机床传动链，丝杆螺旋线等误差的测量系统。