MEMS器件电阻型传感器合成石测试治具探针转接板工装
在MEMS器件制造领域，电阻型传感器因其高灵敏度、小体积和低成本特性，被广泛应用于压力、加速度、气体检测等场景。
然而，这类传感器在封装测试环节面临三大核心挑战：
一是传统金属治具易产生电磁干扰，影响微弱电阻信号的采集精度；
二是温控性能不足导致测试数据漂移；
三是多型号传感器共线生产时的快速换型难题。
这些痛点直接制约了产品良率与生产效率，尤其在汽车电子、医疗设备等对可靠性要求严苛的领域，不稳定的测试结果可能引发系统性风险。行业亟需一种兼具抗干扰性、温度稳定性与适配灵活性的新型测试解决方案。
针对行业痛点，东莞路登科技合成石测试治具凭借其材料与结构的双重创新，为MEMS电阻型传感器测试提供了突破性解决方案：
电磁屏蔽性能
温度稳定性
快速换型设计
该方案已通过ISO 17025认证实验室验证，在汽车胎压监测传感器批量测试中，将单批次测试时间从45分钟压缩至28分钟，良品率稳定提升至99.2%以上。
采用高纯度合成石基材，其非金属特性彻底杜绝了传统金属治具的电磁干扰问题，配合嵌入式铜箔屏蔽层，可确保0.1Ω级微弱电阻信号的采集精度，测试数据波动率降低至±0.5%以内。
合成石材料的热膨胀系数（CTE）与MEMS芯片的硅基材料高度匹配（1.8×10??/℃ vs 2.6×10??/℃），在-40℃~150℃温变范围内，治具形变量小于3μm，有效消除温度漂移对测试结果的影响。
模块化治具结构支持「一板多模」配置，通过预置标准化定位孔与磁吸式夹持机构，可在3分钟内完成不同封装尺寸（2mm×2mm至10mm×10mm）传感器的切换，换型效率提升80%。
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