CVD真空气氛管式炉
上海微行炉业生产厂商,专业为客户打造CVD真空气氛管式炉系统,咨询热线:15026959022.
CVD真空气氛管式炉管式炉规格大小可选配!
CVD真空气氛管式炉混气系统多路气体可选配!
CVD真空气氛管式炉真空机组(高真空和低真空)可选配!
CVD真空气氛管式炉产品参数:
1,采用双层壳体,炉膛采用多晶氧化铝纤维,最大程度减小能量损失内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度。
2,功率1.75KW ,电压AC -220V
3,升温速率: <= 10C/min
4,最高工作温度:1200℃(< 1hr)连续工作温度1100 ℃
5,石英管40 x 43 x 500mm (O.D x I.D x Length)
6,加热区长度: 8" (200mm)
7,温控系统:PID30段程序化控温,控温精度: +/- 1℃
8,加热元件:掺钼铁鉻铝(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)
CVD真空气氛管式炉两路混气系统:
两个浮子流量计量程为16 —100mL/min
-0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
三个机械压力表:-0.1-0.15 MP
混气箱上安装有一不锈钢针阀
后端装有φ6.35卡套接头,无需通电
外型尺寸:340Lx300Dx 180H,mm(13.4"x12"x7").
净重:14 lbs.
CVD真空气氛管式炉真空法兰和配件:
一个防腐型真空计
一个φ6.35的卡套接头
两个KF25转接头
一个600mm的不锈钢波纹管
真空泵
质保期:一年质保期(不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件)
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