CVD真空管式炉
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CVD真空管式炉产品简介:
CVD真空管式炉该套系统由双温区滑轨式快速升温炉，5通道质量流量计气路系统与进口高真空系统组成。滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，这款设备是根据开启式真空管式炉改装而来的，操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
CVD真空管式炉:
额定功率：3KW
额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
最高温度：1200℃ (1 hour)
持续工作温度：1100 ℃
最大升&降温速率：≥10℃/S
炉管尺寸高纯石英管： Φ50，Φ60，Φ80，Φ100×1400mm
加热区长度：200 mm+200mm
恒温区长度：100 mm+100mm
控温方式：30段可编程PID
控温精度：±1℃
CVD真空管式炉进口真空系统:
抽速：4L/S
CVD真空管式炉质量流量计控制气路系统（可来图定制）
内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀
真空度可达10-1Pa
数显真空测试仪可直观的显示数值
气体流量范围为0-200 误差为±1.5%
一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入
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