CVD设备CVD石墨炉设备
主要特点:这款配置的低真空CVD系统集1200度开启式真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、四温区、五温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵可选用进口设备,性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
真空管式炉WX-1200:
额定功率:5Kw
额定电压:AC220~240V 50Hz
最高温度:1200℃
额定温度:1100℃
加热区长度:150+200+150+300mm(4点控温)
升温速率:≤20 ℃/min
炉管尺寸:Φ100*14000mm(可选)
外型尺寸(长×宽×高):1030×430×580mm
重量:80kg
供气系统GMF-3Z(质子流量计)
外形尺寸:600x600x650mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头。
标准量程(N2):100、200、500sccm; (可根据用户要求定制)
准确度:±1.5%F.S.
线性:±0.5~1.5%F.S.
重复精度:±0.2%F.S.
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
最大压力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀:Φ6
低真空机组DZK-01
型号:DZK-8
抽速:8m3/h
极限真空度:5*10-1pa
电源:220v 50hz
电机功率:0.4kw
进排气连接口:KF25
用油量:0.6-1L
电机转速:1440rpm
工作环境温度:5-40℃
噪音:≤56db
CVD石墨烯设备,上海微行炉业厂家直销,根据要求可定制,以下发布的一款低压CVD石墨烯设备仅供参考,如有不同的要求均可选配,具体要来电咨询业务专员,服务热线15026959022,上海微行炉业期待与您达成合作。
CVD石墨烯设备
CVD石墨烯设备产品参数:
以上发布的一款低压CVD石墨烯设备仅供参考,如有不同的要求均可选配,具体要来电咨询业务专员,服务热线15026959022,上海微行炉业期待与您达成合作。
*您的姓名:
*联系手机:
固话电话:
E-mail:
所在单位:
需求数量:
*咨询内容: