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CVD设备CVD石墨炉设备 

CVD设备CVD石墨炉设备

  • 品 牌:微行炉业Microx
  • 价 格:面议 /
  • 供 应 地:上海上海市
  • 包装说明:三合木板包装
  • 产品规格:CVD
  • 运输说明:物流
  • 交货说明:7个工作日发货
  • 发布日期:2015/12/23 10:27:16
  • 联系人QQ:2265362702 点击这里给我发消息

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CVD设备CVD石墨炉设备

CVD石墨烯设备,上海微行炉业厂家直销,根据要求可定制,以下发布的一款低压CVD石墨烯设备仅供参考,如有不同的要求均可选配,具体要来电咨询业务专员,服务热线15026959022,上海微行炉业期待与您达成合作。

CVD石墨烯设备

主要特点:这款配置的低真空CVD系统集1200度开启式真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、四温区、五温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵可选用进口设备,性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

CVD石墨烯设备产品参数:

真空管式炉WX-1200:

额定功率:5Kw

额定电压:AC220~240V  50Hz

最高温度:1200℃

额定温度:1100℃

加热区长度:150+200+150+300mm(4点控温)

升温速率:≤20 ℃/min

炉管尺寸:Φ100*14000mm(可选)

外型尺寸(长×宽×高):1030×430×580mm

重量:80kg


供气系统GMF-3Z(质子流量计)

外形尺寸:600x600x650mm

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

标准量程(N2):100、200、500sccm; (可根据用户要求定制)

准确度:±1.5%F.S.

线性:±0.5~1.5%F.S.

重复精度:±0.2%F.S.

响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.1~0.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体            

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀:Φ6

低真空机组DZK-01

型号:DZK-8

抽速:8m3/h

极限真空度:5*10-1pa

电源:220v 50hz

电机功率:0.4kw 

进排气连接口:KF25

用油量:0.6-1L

电机转速:1440rpm

工作环境温度:5-40℃

噪音:≤56db



以上发布的一款低压CVD石墨烯设备仅供参考,如有不同的要求均可选配,具体要来电咨询业务专员,服务热线15026959022,上海微行炉业期待与您达成合作。



 

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