全自动氢氮混合气体配比器半导体气体混合配气装置
全自动氢氮混合气体配比器半导体气体混合配气装置主要技术指标；
1、混合配比柜 原料气
氮气压力 ≥0.4Mpa
氢气压力 ≥0.4Mpa
2、 混合配比柜工作压力 ≤0,3MPa
3、 混合气流量 ≥50NM3/h
混合气含氢量 0-20%可调
混合气压力 0.3MPa
混合气精度 ±1.%（满量程）
4、 混合配比柜装机功率 200W
5、 电源 220V、50HZ
6， 控制柜外型尺寸 1000×700×1500mm
7、 设备颜色 米白色
全自动氢氮混合气体配比器半导体气体混合配气装置设备工作原理；
全自动配比器进入配比柜的氢气、氮气经配气进口减压稳压后，由各路数字气体流量计指示各种气体流量、压力，然后经PLC计算控制需要注入的量，来达到配比需要的混合含量。配比在后级流量变化时自动调节需要加入的氢气、氮气的含量，并由分析仪实时监测配比气体的百分含量比。即开即用，无需预热，在恒定的配气比例状态下，无需值守，程序自主完成，配比柜采用触摸屏显示并控制配气参数，有以下几个优点。
1、混合配比柜采用数字流量计，实时显示各路气体的用气量。
2、进口压力有波动时，自动调节加入量并保持配比含量。
3、高精度压力传感器实时控制并监测混合气体压力。
4、设各路报警，最大限度保证配比器的正常运行。
5，全自动配比器配气装置采用整体式结构，配置485端子输出，完成远程控制需要
全自动氢氮混合气体配比器半导体气体混合配气装置
全自动配比器设备主要组成及功能；
1,气体流量计；是本系统的控制机构，其动作直接受执构控制。是混合配比的关键部件。
2,稳压减压控制阀；控制压力及流量、混合气压力主要稳压部件。
3,氢气分析仪；是本设备的检测机构(小流量计是氢分仪的 流量控制器)，显示配比气中的百分比含量。
4,开关阀门；控制气体的通断，停止设备运行。
5,压力传感器；检测混合气压力，并配合阀门调节压力。
6,混合罐；混合气混合罐，把各路气体混合均匀。
7,触摸屏；显示实时流程、配气参数、报警参数等。
8,电气组合；控制操作设备，直观显示工作流程、工作状态。
全自动氢氮混合气体配比器半导体气体混合配气装置
工艺流程；
全自动氢氮混合气体配比器半导体气体混合配气装置工艺流程及控制方法
以图所示(见流程图)，氢气经精密过滤器，减压稳压阀，质量流量计 加入经稳压后的氮气中，经过比例计算，两种配比气经混 合罐混合。混合后的混合配比气经小流量计传输给分析仪分析，显示各种百分比含量，达到需要的比例后，通过工作出口阀送到使用地点.具体操作请见下控制流程。
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