砷化铟衬底
名称：InAs（砷化铟）单晶，
规格：可以做到2英寸、3英寸，正常晶向为<100>、<111>,特殊晶向也可以加工。
参数：
InAs单晶参数
品种
类型
浓度
（cm-3）
迁移率
(cm2/V.s)
位错密度
(cm-2)
纯 InAs
N
￡3′1016
32′104
<3′104
S-InAs
N
(3-80)′1017
？
<1′104
Zn-InAs
P
(3-80)′1017
60-300
<1′104
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