
供应半透明石英坩埚
1、高纯合成石英涂层透明石英坩埚:
在半导体生产和制造砷化镓等工艺中,既要求石英器材有较高温度的承受能力,又要防止杂质离子扩散引起沾污,为解决此问题,以天然水晶石英玻璃为基体,内壁用高温喷涂工艺,涂上一层高纯合成石英玻璃,这样就同时具备了两种石英玻璃的优点.制造的高纯度石英坩埚壁体透明,其典型的厚度为0.6mm~2.0mm,该透明层内没有气泡,且透明层的制造原料纯度高,可以保证坩埚长时间使用不容易析晶。
2、 电弧法半透明石英坩埚:
它是以电弧为热源,离心成型为基础,熔化预先成型过的高纯石英粉料,通过真空吸引制造高纯度内层透明,外层乳白的石英坩埚。特点:高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定,应用:半导体用拉制大直径单晶硅,大规模集成电路中的基础材料。
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