全氟溶剂
由于污染问题和对臭氧层产生严重的破坏，近年来新研究和开发的氯氟系清洗剂的替代物主要有HCFC一123、HCFC一14lh;丙烷类主要是与CFC-113性质相近的二纵五氟丙烷即HCFC-225系列。 HCFC-225ca与HCFC-225cB是它的同分异构体。均具有良好的清洗性质，且可以原封不动地应用于现用的CFC-113清洗机上。各类氟碳系清洗剂的性质见表
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