薄膜测量仪器 >> 薄膜在线监测控制仪器 >> 温度与薄膜厚度测量监测器
薄膜测量仪器 >> 薄膜在线监测控制仪器 >> 温度与薄膜厚度测量监测器
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产品编号:
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841482816
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产品名称:
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温度与薄膜厚度测量监测器
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规 格:
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产品备注:
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产品类别:
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薄膜测量仪器
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产 品 说 明
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Eon-LT?温度与薄膜厚度测量监测器是一个基于电脑的薄膜厚度监测器,远远优于优于传统的监测器,传统的监测器无法感知晶体的热变化。本监测器是把频率和温度测量相结合,在实时速率和薄膜厚度监测方面可获取从来没有的精度。
为什么要测量温度?因为加热过程导致晶体的频率变化,毫无疑问等于镀膜引起的频率变化,对大多数速率测量,在正常操作会存在10%的误差,最糟糕的情况,会产生100%的误差。如果你的测量总是出错,那就是我们为什么要用Eon-LT?温度测量薄膜厚度监测器来测量。
特点:
● 附加精密的温度测量
● 与最新、直观的 Eon?软件通信
● 与相应的速率和厚度相伴的实时温度和频率的测绘图
● 支持挡板的接通和断开
● 通信:RS-232, USB, 和 WiFi
● 双通道扩展能力
● 包括所有的连接电缆、软件和操作手册
● 驱动晶体6MHz,1-200Ω, 任何类型(石英、超级石英)
● 两个K型热电偶输入,精确到+/-0.25°C
● 两个高分辨传感头,输入精度达到0.001Hz
● 24V电源
● 工业标准的RS232通信协议
● 尺寸:4.5英寸 x 2.5英寸 x 1英寸
● 两个用户可选的传输口
● LED状态指示
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