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平坦度及表面形态测试仪 

  • 价 格: 面议 /
  • 供 应 地:北京北京市
  • 发布公司:北京合能阳光新能源技术有限公司
  • 产品型号:FM200
  • 品 牌:进口
  • 发布日期:2012/12/31 16:27:09
  • 联系人QQ:454972757 点击这里给我发消息

详细说明

产品说明Explain

公司简介Content


产品介绍:
Tropel®FM200®为精密部件的制造商提供了业界领先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。FM200能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。
产品特点:
■    无接触和无损伤测量
■    适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
■    适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
■    适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面
■    测量多种不同指标:
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
■    完整的分析系统:
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
■    可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
■    超过15年的工业应用,全球几百台的装机量  
技术参数:
■    精确度:50nm  (2.0μ″)
■    重复性:15  nm(0.6μ″)(1  sigma)
■    分辨率:5nm  (0.2μ″)
■    可测量工件尺寸:25mm-200mm
■    动态测量范围:>100um
■    测量数据点:230,000  /  measurement
■    测量时间:5秒
■    电源:~220V    50Hz        

典型客户:
国外:Honeywell  Electronic  Materials,SEI,Showa  Denko,SESMI,Saint  Gobain,Nikko  Materials,Hitachi  Cable,Freiberger  Compound  Materials,Crystal  Tech,Samsung,LG,Crystalwise,Wafer  Works……
国内:塞维,重庆四联,中电46所,山东大学,大连理工大学,中国科学院半导体所,中国科学院物理所,中科晶电,中科镓英,云南蓝晶,青岛嘉星晶电,天科合达,大庆佳昌……

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北京合能阳光新能源技术有限公司

  • 联系人:肖宗镛(销售经理)
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  • 认证类型:未认证
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  • 主营产品:硅材料检测 蓝宝石检测 电池片检测
  • 公司所在地:北京北京市