电子级三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为102℃，相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
五、质量指标:
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分析项目 |
技术指标（ppb） |
分析项目 |
技术指标（ppb） |
||
|
6N |
7N |
6N |
7N |
||
|
As,max |
30 |
6 |
Mg,max |
20 |
5 |
|
Ba,max |
20 |
1 |
Mn,max |
30 |
1 |
|
Ca,max |
30 |
5 |
Ni,max |
20 |
1 |
|
Co,max |
20 |
1 |
Pb,max |
10 |
3 |
|
Cu,max |
20 |
2 |
Sr,max |
5 |
1 |
|
Cr,max |
20 |
1 |
Ti,max |
5 |
2 |
|
Fe,max |
40 |
5 |
Zn,max |
5 |
1 |
|
Al,max |
40 |
5 |
K,max |
30 |
3 |
|
Ag,max |
1 |
1 |
Li,max |
10 |
6 |
|
Au,max |
1 |
1 |
Na,max |
10 |
5 |
|
Bi,max |
10 |
1 |
Nb,max |
2 |
1 |
|
Ga,max |
1 |
1 |
Sn,max |
5 |
1 |
|
Hg,max |
10 |
5 |
含量,min |
99.9% |
99.9% |
|
色度,max |
5 |
5 |
颗粒物,Size,#/ml |
≥0.3um, 50max |
≥0.3um, 50max |
六、包装
容 器：石英玻璃源瓶或内衬PFA材料钢桶。
外包装：容器外套厚质PVC塑料袋；PE塑料专用箱内置海绵缓冲垫。
规 格：400ml、1000ml、1500ml、20L，也可以根据用户的要求进行包装。
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