高纯电子级无水三氯化铝
一、分子式:AlCl3
二、分子量:133.35
三、理化性质:
白色颗粒或粉末,有强盐酸气味。易溶于水、醇、氯仿、四氯化碳,微溶于苯。
四、用途:
主要用于芯片的P型掺杂,或制备氮化铝介电膜和氧化铝介电膜。是制作集成电路、太阳能电池等的固态铝源,以及有机合成中的催化剂和制备铝有机化合物、金属的炼制等。
五、质量指标:
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分析项目 |
技术指标(ppm) |
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4N |
5N |
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外观 |
颗粒或粉末 |
颗粒或粉末 |
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颜色 |
白色 |
白色 |
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镉 (Cd) max |
8 |
1 |
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铬 (Cr) max |
14 |
1 |
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铁 (Fe) max |
10 |
1 |
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铅 (Pb) max |
8 |
1 |
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锰 (Mn) max |
10 |
1 |
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镍 (Ni) max |
30 |
1 |
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镁 (Mg) max |
10 |
1 |
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钡 (Ba) max |
10 |
1 |
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六、包装
容 器:120ml广口瓶。
外包装:容器外用PE袋抽真空,再放入含有防撞海绵和防潮袋的硬纸盒中,最后再次抽真空。
规 格:50克/瓶,也可以根据用户的要求进行包装。