电子级反式-1,2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC(DCE)
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名称 |
反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC |
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化学式 |
C2H2Cl2 |
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相对分子量 |
96.94 |
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CAS号 |
156-60-5 |
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理化性质 |
无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.265g/ml。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。 |
主要用途:
高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)、光伏制造业所需的电子化学品。
产品标准:
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项目Item |
标准值Standard Value |
项目Item |
标准值Standard Value |
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纯 度 |
99.999995%(7.5N) |
锰(Mn)max |
0.1ppb |
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铝(Al)max |
0.3ppb |
钠(Na)max |
0.2ppb |
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银(Ag)max |
0.1ppb |
镍(Ni)max |
0.1ppb |
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砷(As)max |
0.1ppb |
铌(Nb)max |
0.1ppb |
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金(Au)max |
0.1ppb |
磷(P )max |
1.0ppb |
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硼(B )max |
1.0ppb |
铅(Pb)max |
0.1ppb |
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钡(Ba)max |
0.1ppb |
锑(Sb)max |
0.1ppb |
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铋(Bi)max |
0.1ppb |
锡(Sn)max |
0.1ppb |
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钙(Ca)max |
0.8ppb |
锶(Sr)max |
0.1ppb |
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镉(Cd)max |
0.1ppb |
钛(Ti)max |
0.1ppb |
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钴(Co)max |
0.1ppb |
锌(Zn)max |
0.2ppb |
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铜(Cu)max |
0.1ppb |
酸度 max |
5ppm |
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铬(Cr)max |
0.1ppb |
水份 max |
20ppm |
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铁(Fe)max |
0.6ppb |
颗粒数≥0.1μm max |
5p/ml |
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镓(Ga)max |
0.1ppb |
颗粒数≥0.2μm max |
3p/ml |
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汞(Hg)max |
0.1ppb |
颗粒数≥0.5μm max |
1p/ml |
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钾( K)max |
0.2ppb |
色度 |
<10APHA |
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锂(Li)max |
0.1ppb |
外观 |
无色透明液体 |
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镁(Mg)max |
0.1ppb |
保质期 |
24个月 |
包装方式:
容器:石英源瓶
规格: 1500ml, 1000ml, 500ml, 400ml
外包装:容器外套厚质PVC胶袋,PE专用箱内置海绵缓冲