半导体用电子级三甲基锑
前驱体材料 Precursor Material
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序号 |
中文名 |
化学式 |
CAS号 |
中文别名 |
英文名 |
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1 |
三甲基铝 |
C3H9Al |
75-24-1 |
三甲基铝 |
Trimethylaluminium |
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2 |
三甲基锑 |
Sb(CH3)3 |
594-10-5 |
三甲基锑 |
Trimethylantimony |
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3 |
三乙基锑 |
C6H15Sb |
617-85-6 |
三乙基锑 |
Antimony triethide |
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4 |
二叔丁基碲 |
PhTeMgBr |
83817-35-0 |
二叔丁基碲 |
Tert-butyl telluride |
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5 |
二乙基碲 |
Te(C2H5)2 |
627-54-3 |
二乙基碲 |
Telluriumdiethyl |
898995850
