电子级三甲基铝(TMA)
一、分子式：Al(CH3)3
二、分子量：72.09
三、理化性质
无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.74g/ml。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去自燃性。
四、用途
液态铝源，在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O3钝化膜。在半导体工业，用于沉积氧化铝膜，或与硅、铪、锆等一起沉积混和氧化物膜，或与氨一起沉积氮化铝膜。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标（ppm） |
分析项目 |
技术指标（ppm） |
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4N |
4N |
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Al max |
37.0-37.4% |
Mn max |
1 |
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Ag max |
1 |
Na max |
3 |
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B max |
1 |
Ni max |
1 |
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Ba max |
1 |
Pb max |
2 |
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Ca max |
1 |
S max |
1 |
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Cd max |
1 |
Si max |
15 |
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Cu max |
1 |
Ti max |
1 |
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Cr max |
1 |
V max |
2 |
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Fe max |
1 |
Zn max |
1 |
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Ge max |
1 |
O max |
150 |
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In max |
1 |
色度（APAH），max |
10 |
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Mg max |
1 |
六、包装
容 器：内抛光304不锈钢罐
气 口：1/4"VCR母接头
浸 管：1/4"VCR公接头
规 格：1kg、7kg、14kg
898995850
