电子级亚磷酸三甲酯 (TMPI)
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性质
无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标 |
分析项目 |
技术指标 |
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纯度 |
99.99999%（7N） |
Li max |
1 ppb |
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Al max |
2 ppb |
Mg max |
3 ppb |
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Ag max |
1 ppb |
Mo max |
1 ppb |
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As max |
8 ppb |
Mn max |
1 ppb |
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Au max |
1 ppb |
Na max |
2 ppb |
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Ba max |
1 ppb |
Ni max |
1 ppb |
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Be max |
1 ppb |
Nb max |
1 ppb |
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Bi max |
1 ppb |
Pb max |
1 ppb |
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Ca max |
4 ppb |
Sb max |
1 ppb |
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Cd max |
1 ppb |
Sn max |
1 ppb |
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Co max |
1 ppb |
Sr max |
1 ppb |
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Cu max |
1 ppb |
Ti max |
1 ppb |
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Cr max |
1 ppb |
V max |
1 ppb |
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Fe max |
3 ppb |
Zn max |
2 ppb |
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Ga max |
1 ppb |
Zr max |
1 ppb |
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Hg max |
1 ppb |
色度 max |
＜10APHA |
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K max |
1 ppb |
颗粒数≥0.5μm max |
15 p/ml |
六、包装
容 器：316L材质钢瓶
气 口：1/4"VCR公阀门
浸 管：1/4"VCR母阀门
外包装：不锈钢柜
规 格：5L，19L
898995850
