电子级硼酸三甲酯 (TMB)
一、分子式: B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/ml，沸点67～68℃。易燃，
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、
分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标 |
分析项目 |
技术指标 |
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纯度 |
99.99999%（7N） |
Mg max |
1 ppb |
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Al max |
4 ppb |
Mn max |
1 ppb |
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Ag max |
1 ppb |
Na max |
1 ppb |
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As max |
1 ppb |
Ni max |
1 ppb |
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Au max |
1 ppb |
Nb max |
1 ppb |
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Ba max |
1 ppb |
Pb max |
1 ppb |
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Bi max |
1 ppb |
Sb max |
1 ppb |
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Ca max |
3 ppb |
Sn max |
1 ppb |
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Co max |
1 ppb |
Sr max |
1 ppb |
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Cu max |
1 ppb |
Ti max |
1 ppb |
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Cr max |
1 ppb |
Zn max |
1 ppb |
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Fe max |
2 ppb |
水分，max |
20ppm |
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Ga max |
1 ppb |
色度，max |
＜20APHA |
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Hg max |
1 ppb |
颗粒数≥0.2μm max |
30p/ml |
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K max |
1 ppb |
颗粒数≥0.5μm max |
10 p/ml |
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Li max |
1 ppb |
颗粒数≥1.0μm max |
3 p/ml |
六、包装
容 器：316L材质钢瓶
气 口：1/4"VCR公阀门
浸 管：1/4"VCR母阀门
外包装：不锈钢柜
规 格：3L，5L，19L
898995850
