供应东莞志圣智能HMDS烘烤箱技术参数
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- 供 应 地：广东省东莞市
- 发布公司：东莞市志圣智能科技有限公司
- 产品型号：QMO
- 品 牌：志圣智能
- 发布日期：2025/7/30 10:49:38
- 联系人QQ：976165890
详细说明
HMDS烘烤箱作为半导体制造中的关键设备，主要用于六甲基二硅氮烷（HMDS）涂覆工艺后的晶圆烘烤处理。其核心技术在于精确的温度控制系统（±0.5℃）和气体环境调节模块，通过石英加热管与PID算法的组合，实现150-250℃的梯度控温范围。设备配备氮气净化系统可将氧含量控制在50ppm以下，避免光刻胶氧化。典型应用包括集成电路制造中12英寸晶圆的粘附促进处理，MEMES器件制造时的表面疏水改性，以及化合物半导体器件的界面钝化工艺。在第三代半导体领域，HMDS烘烤箱的快速升降温功能（10℃/s）特别适用于氮化镓功率器件的制备。当前技术发展趋势呈现三个特征：多区域独立温控系统的集成、与轨道式涂胶机的在线联机、以及AI驱动的工艺参数自优化功能。
志圣智能专注高端产品干燥方案解决。
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志圣智能主營產品：
曝光機系列、壓膜機系列、工業烤箱系列、真空乾燥箱系列、氮氣烤箱、氮氣櫃系列、無塵烤箱系列、工業隧道爐系列、框架式隧道爐系列、紫外線UV固化機系列、及非標自動化定制。
企業價值觀：
使命：深耕光熱設備方案解决，深度客戶。
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價值觀：創新、創造、誠信、正直、進取。
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