一、技术参数：
1、处理气量： 5~500Nm3/h
2、纯化后氩气纯度 99.9995%
纯氩技术要求应符合下表的规定符合：GB/T4842-2006
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项目 |
原料气指标 |
纯氩指标 |
纯化后指标 |
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氩气纯度(体积分数)/10-2 |
99.99% |
99.999% |
99.9995% |
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氢气含量(体积分数) ≤ ppm |
5 |
1.0 |
0.5 |
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氧气含量（体积分数）≤ ppm |
10 |
1.5 |
1.0 |
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氮含量（体积分数）≤ ppm |
50 |
4 |
2 |
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烃类含量（体积分数）≤ ppm |
20 |
1 |
0.5 |
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水份含量（体积分数）≤ ppm |
15 |
3 |
2.0 |
装置特点：
1. 净化则采用了世界先进的净化材料。其特点有吸附深度好，吸收杂质气体量大的特点，纯度可达99.9999%以上。
2. 并安装了小于0.1μ的金属过滤器。保证了气体粉末的要求。
本装置的阀门采用国内外专业阀门公司的优质产品，保证了产品的高纯度无渗透及安全可靠性。
4. 设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。
5. 设备中全部选用我公司跟踪国际先进水平而研制的净化材料，具有净化深度好、安全可靠、可反复再生的特点。
6. 设备中的主要控制仪表全部采用国内外先进产品。
7. 接头采用先进的高纯接头,保证了无渗透。
8. 外观设计采用国际流行颜色及形式,使产品更美观。
高纯氩气主要用途：用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。 氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。
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