抽气速率。在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率。即气体A的抽气速率sA(m3/s)为流量QA(Pa.m3/s)除以测试罩内这种气体A的分压力pA而得。一般真空泵的抽气速率与气体种类有关。给定的抽气速率，表示对某种气体的抽气速率。如无特殊表明，多指抽空气而言。
极限压力。将真空泵与检测容器相连，放入待测气体后，进行长时间连续抽气，当容器能的气体压力不再下降，而维持在某一定值时，次压力即为泵的极限压力。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最l好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
真空泵的价格、运转及维修费用。
在整个操作温度范围内要保证足够的机械强度：
除了要保证其结构的完整性，还必须确保功能表面的变形不会对其功能特性造成影响。示例：真空室部件上的大气压力大约为 10 N/cm 2 。在面积为 1 m 2 的表面上，将产生100,000 N 的压力。
低固有蒸气压、高熔沸点：
固有蒸气压太高会限制最终的真空压力。除了油和润滑脂的真空兼容性，在合金中，必须考虑金属固有的蒸气压或其在合金中的分压。示例：对于黄铜制品，锌在高真空中的分压被限制在最l高允许温度大约为 100°C。
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