油封机械真空泵（包括滑阀泵、旋片泵、定片泵）。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前，旋片式油封机械真空泵（如普旭真空泵），做为直排大气的前级泵，使用的量大面广。
罗茨真空泵（机械增压泵）。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气，需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气，主要用于造纸工业中。
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最l大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
1）水环真空泵。适用于真空浓缩、真空脱水、真空脱色、真空干燥、真空保险、真空储藏、真空输送、真空成型等工艺。
2）往复真空泵。适用于真空蒸馏、真空浓缩、真空浸渍、真空过滤、真空造型、真空干燥、钢液真空处理等工艺。往复真空泵与水环真空泵使用的工艺基本相同。但是。往复真空泵不能直接抽水蒸汽，需要抽水蒸气时一定要配备冷阱，采用制冷压缩机系统冷却。
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