■ 高气密性：
每种材料基本上都是气体可渗透的。气体渗透的整个过程被称为渗透。渗透的快慢取决于材料、气体类型以及环境条件—特别是温度。使用弹性体密封件的情况下，其渗透性必须予以考虑。示例：对于 DN 500 ISO-K 的 FKM（氟橡胶）密封件，在湿度为 60% 的空气中，渗透率大约为 4· 10 -7 Pa · m 3 /s。因此，带有 FKM 密封件的真空系统工作压力很少会超过 1 · 10 -8 hPa。
对各种真空泵性能，都有规定的测试方法来检验其性能的优劣，真空泵的主要性能有一线几个。
1）极限压力。将真空泵与检测容器相连，放入待测气体后，进行长时间连续抽气，当容器能的气体压力不再下降，而维持在某一定值时，次压力即为泵的极限压力。
2）流量。在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量。在真空技术中，流量的单位用压力*体积/时间来表示，即Pa.m3/s或Pa.m3/h表示。通常泵要给出流量与入口压力的关系曲线。
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
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