(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
■ 抗热冲击性能好、膨胀率适应性好：
示例：不同热膨胀将铝密封件与不锈钢法兰组合的最l高允许温度限制在 150°C 左右。经常在过高温度之后，在冷却过程中发生密封效果恶化的情况。
■ 耐腐蚀性、耐化学性：
示例：很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。因此，有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封件。尤其是薄壁部件，如金属波纹管，容易受到腐蚀。如有必要，应该在测试中确定其使用寿命。对于特殊的应用，可能可能还会对材料有更多要求。
一般的规则是：所需工作压力越低，对材料的要求越高，可使用的材料选择性越小。因此，特别在HV（超高真空）技术中，材料的选择非常重要。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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