真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：
(1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空。
(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为'次高'真空。
(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为'高'真空。
若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种，若不要求很低的压力时，可用水泵，如果水泵的构造好且水压又高，抽空效率可达1067~3333Pa(8~25mmHg)。l水泵所能抽到的最l低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如，水温25℃、20℃、10℃时，水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25
坚固的球墨铸铁结构提供了经过验证的可靠运行。
以 500rpm 的低转速运行时，泵的使用寿命最l长。
具有很少移动部件、低转速和大间隙的高效设计使运行时间极大地延长。
可达到低至 2.5 x 10-2Torr 的低极限真空度。
阀盖采用新型设计，免维护且运行时无噪音。
节省空间的设计可节约高达 50% 的宝贵地面空间。
交付完整而独立的装置，可随时进行安装。
自动润滑系统可将润滑油正确输送到轴承和密封表面，并防止其回流到系统中。
受控平衡将振动降低到实际最l低程度。
气囊作为标准部件提供。
总体功能中包括各种生产和维护功能，可通过广泛的真空系统附件使设备保持最l佳运行状态
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