爪式泵的特点
爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些特点：
1）泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生；
2）抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）；
3）与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损；
4）在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除；
5）该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀，
电气监控及报警装置；
6）齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑；
7）第二、三、四级均有净化气体入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分
别调节，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量；
8）入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系
统有可靠的保护，杜绝了向真空室的返流；
9）电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。
当泵出现故障时泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以
满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器，有按钮控制，可控制
马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的
阀门等。故障的监控报警或停车，系统安全自动控制，也可按钮控制。启动时，打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段
涌入，通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化
1min，净化结束，马达再停车，关闭惰性气体截止阀。
真空泵的选型
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
我公司生产的新型WL、2WL系列无油立式往复真空泵，是原W型卧式真空泵的更新换代产品。与W型卧式真空泵相比，该泵具有以下优点：1、气缸、活塞环、曲轴、活塞杆、十字头等的平均磨损率降低百倍以上，气阀寿命提高50倍左右。2、功率消耗降低1/3左右，占地面积减少2/3左右，用水量减少1/2左右。3、因消除了横波劣性振动，故降低了噪声。4、WL、2WL系列真空泵，大大提高了真空清洁度，是食品、制药等行业的理想设备。5、WL往复泵为单级抽气，极限真空15托。2WL往复泵为双级抽气，极限真空1托。可满足不同用户对各种真空度的要求。
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