在实际生产中,深冷捕集泵的制冷盘管在真空镀膜机上安装位置有一下三种方式:
1、安装于真空腔室的通道中或者真空镀膜腔室的任意部位,主要用于捕集真空腔室内残余在空气中的水蒸气,达到加快抽气速度,提高真空度,增强镀膜品质,由于开门后制冷盘管会因外面空气的进入而结霜或者结露影响下次抽真空,因此每次开门之前要对制冷盘管进行回温操作
2、安装于油扩散泵口高阀以下,主要目的防止油扩散泵的油蒸汽返到真空腔室,同时可以提高真空度,由于此处一直处于真空状态,所以不用对制冷盘管进行回温操作。
3、深冷捕集泵可设计出双路输出,同时安装于真空腔室和油扩散泵口。
本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。
北京天地精仪生产的水汽捕集泵主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%;
2、提高镀膜质量,防返油、不脱落、颜色纯正;
3、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃;
4、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温;
5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制;
6、一台设备可设计两路负载输出;
7、进口压缩机,环保混合型制冷剂;
8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示;
9、除霜温度自由设定;
10、具有水温温度、排气温度显示;
11、缺水、水温过高报警;
12、压缩机排气过高、压力过高保护;
13、可本地、远程控制自由转换;
14、RS485计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。