真空镀膜专用快速循环水汽深冷泵
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- 供 应 地:北京北京市
- 发布公司:北京天地精仪科技有限公司
- 产品型号:TH-135-50A
- 品 牌:天寒
- 发布日期:2017/4/26 10:57:02
- 联系人QQ:3220782679

详细说明
光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内抽吸水汽,也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
简介:
在高真空状态下,真空室内残余气体分子的65%到95%以上都是水分子以及水分子与其它气体分子的结合物,这些水汽分子是典型的最具副作用性的污染气体。以往常用的方法是,离子清洗和高温烘烤,但真空系统尤其是扩散泵系统对水蒸气抽速太低,而用昂贵的低温泵系统也仅仅吸附和掩埋掉真空室中的一部分水蒸气分子,高温烘烤也只是把水分子从基片表面迁移,使基片减少对水蒸气的吸附,而Polycold深冷泵是将90%以上的水分子吸附在低温盘管(Cryocoil)的表面,并能吸附掉真空室内一部分油分子,如果在真空系统水冷阱的上面放置Polycold冷阱,不仅能吸抽水汽,而且可以防止扩散泵返油。
Polycold快速循环水汽深冷泵(低温泵)采用了Polycold公司专利的低温冷冻技术,其工作原理依然是麦斯纳(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结,从而达到捕集水汽的目的。这种低温盘管(Cryocoil)直接装在真空室内,系统不再受接头、进气管、阀和挡板等的冷传导的影响,低温盘管的安装不需要高真空阀,可在任何系统中方便地进行。
Polycold快速循环水汽深冷泵能很快地捕捉真空系统中65%到95%的水蒸汽分子,由于水蒸汽分子的含量迅速降低,使镀膜机的抽气能力得到提高,一般抽真空时间可以减少25%到75%,极限真空可提高0.5个数量级。
Polycold水汽深冷泵是世界上领先的水汽深冷泵,由于其开发时间早、技术先进、品质稳定,在中国Polycold已成了水汽深冷泵的代名词。
北京 天地精仪 科技有限公司(BTTC):
注册于北京中关村科技园区内,集研制、开发、生产和经营为一体的高新技术企业。我公司拥有一批专业研制开发双机复叠式制冷、单机自动复叠式制冷设备的设计人员队伍。所开发的“天寒”系列超低温产品拥有自主知识产权,具有世界先进水平,打破了我国某些超低温设备需求长期依赖进口的局面,从而成为全球超低温类产品一支新生的力量。
主要产品有:
? 1、-60℃ 、-86℃、-120℃等系列超低温冰箱(Ultra-low temperature freezer,
? deepfreezer)(又称超低温冰柜, 超低温保存箱, 超低温实验箱, 超低温冷冻箱,
? 医用低温冰箱, 医用低温保存箱等)
? 2、-80℃、-120℃高低温循环液浴
? 3、-100℃超低温冷阱(cold trap, chiller)(又称低温冷阱,Parylene真空涂敷冷阱氟冷 阱,液氮冷阱,氟冷挡板,真空冷阱,超低温冷阱)
? 4、-60℃至-150℃金属低温冷处理箱(超低温金属处理箱,超低温冷冻机组,超低温制冷机组,热沉实验低温机组)
? 5、-150℃水汽捕集泵(cryopump)(国产polycold,深冷泵,水汽深冷泵,低温冷凝泵,超低温捕集泵,气体捕集器
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