工作限高 50 mm （含）以下
工作限重 30公斤
外型尺寸 2200 x 1800 x 1880 (mm)
機器重量 2500 公斤 （含）以下
● 適用LCD面板尺寸 最大80寸
● 點(3umX 3um), 線(長3umX125um ), 塊 (125um X 125um), (修補放大比率 20倍)
● 影像拍照、存檔與上傳
● 光閘紅光與紅框雙重顯示
● 光閘尺寸、鏡頭倍率及雷射功率參數儲存與選用
● 開放式XYZ軸光學尺，可精確定位
● AOI（TXT）鏈接到驅動器的位置坐標的缺陷
● 自動補償影像中心及鏡頭焦距誤差
● 檯面正壓吹浮功能及負壓吸附功能
● 工作臺具備震動隔離器
● 無熔絲保護斷路器保護
● 安全設備不尋常的緊急停止
● 工作環境溫度 21℃+ / -2℃
● 工作環境濕度 55 ± 5％RH
雷射系統
雷射類型 NEW WAVE Polaris ST ND-YAG.
波 長 1064 / 532 nm 雙波長
輸入功率 30mJ(532 nm).
顯微鏡頭 Mitutoyo VMU-L 4Lens auto-revolver.
鏡頭 5倍(觀察)、10倍、20倍、50倍(修補、LCD專用)
操作模式 Auto .
調整差質 Within ± 10μm.
光束模式 長型 / 方型及θ角± 45 °旋轉、可調
工作平台
工作平台尺寸 820 mm X700mm
XY軸移動範圍 820 mm X 750 mm
XY軸移動速度 over 50 mm/second
Z軸移動範圍 50 mm
操作模式 XYZ 軸四段電控
顯像系統
電腦系統 機架式電腦、影像擷取卡、顯示卡、軸卡
顯示器 17 吋 LCD 顯示器（含）以上
取像機 CCD watec WAT-221s.NTCS。
放大倍率 75、364、750、1820.
光源 可調，同軸光源與光班光源及 LED 背光模組
顫噪控制系統
1、微動手臂
2、微量注射器
乾燥燒結系統
1、定影加熱時間和溫度控制
2、移動定位自動加熱和乾燥過程
氣電規格
1、輸入電源：AC單相220V，50 ～ 60HZ，10A
2、氣壓：6公斤/平方厘米
898995850
