磁控等离子体化学气相沉积系统
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- 供 应 地:上海上海市
- 发布公司:上海工盛真空机械有限公司
- 产品型号:
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- 发布日期:2012/8/11 9:23:26
- 联系人QQ:492245437

详细说明
◆真空环境:1.0*10-5Pa
◆采用磁控等离子体化学气相沉积各种薄膜
◆磁控电容耦合式,电磁场可调(0-300Gauss)
◆真空室(320mm)上盖为自动翻开式:温度:27-700C阴极:5“水冷,间距可调;阳极:5”,室温-700C可调
◆机械泵:8升/分钟
◆分子泵:600升/秒
◆手动/技算机控制
上海工盛真空机械有限公司”是一家专业从事真空阀门真空设备及相关产品的研发、生产、销售为一体的高新技术企业。公司凭借一支过硬的研发团队,不断开研新型产品。
企业主要产品以真空阀门、真空腔体、真空配件、复合分子泵等,并承接非标真空系统加工业务,产品被广泛用于电子信息、薄膜合成、光学、真空炉业、能源、医药、真空冶炼、化工等领域。 工盛真空-----以诚信为本,秉承质量第一、顾客至上的经营理念,竭诚为您提供最佳解决方案、高质量产品的超值服务。工盛真空-----以诚信为本,秉承质量第一、顾客至上的经营理念,竭诚为您提供最佳解决方案、高质量产品的超值服务。工盛真空-----以诚信为本,秉承质量第一、顾客至上的经营理念,竭诚为您提供最佳解决方案、高质量产品的超值服务。
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