低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量高能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
等离子区工艺特点
1、高效的处理效果：低温等离子废气处理设备效率可以去除到90%
2、运行费用低：工业等离子废气净化设备采用专利的蜂窝电场、卧式结构，阻力小。减少了风机的阻力，降低了运行费用；设备本身采用先进的高压控制系统和高压电源，转换效率高，耗电低。
3、维护方便：需要定时清洗的部件为可拆卸的模块化组合，这样既方便设备日常的清洗维护，也有利于这些部件的维修替换。
4、可升级性：设备都采用标准法兰连接的组合式结构，使设备具有可升级性。模块化净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净化率要求，单元数量可作适应性调整。
5、占地面积小：设备的电源和设备在一起，无需另建电源控制室，节省厂房面积。
6、运行的持续性：采用分组供电的方式；即使某一组电场放电或故障，其他组还可以正常工作，不影响设备的运行，保证设备运行的持续性。
7、设计周密：高电压电源精心设计成环氧树脂严密封闭的单元体，采用分组供电、分组控制，使用安全可靠。
8、安全性：设备配有防火网、防火阀、温度检测系统、消防灭火系统，确保设备安全稳定运行。
9、气流方向：卧式结构，用户安装的时候，风管、净化设备和抽风机可以方便地横向排列起来，方便布局，减少风阻；同时便于净化器均风，从而提高除气效率。
10、阴阳极距采用窄间距结构：单位体积里容纳了较大的阳极面积，体积小，除气效果好
11、设备的安装：设备较轻，无需特别的基础。主体设备在工厂安装调试好。安装成本低、时间短，容易达到设计效果
12、高压和低压控制:带芯片控制的高压控制电路、带PLC的智能低压控制。可实现安全、可靠和智能化运行。
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