供应紫外光刻机
型号：URE-2000/35
1、面积：100mm×100mm（可升级6英寸）
2、分辨力：0.8-1µm（胶厚2mm的正胶）
3、对准精度：：±0.8µm
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、样片尺寸直径Ф15mm--Ф100mm(可适应非标准片或碎片)
7、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
8、照明均匀性：±3%（Ф100mm范围）
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