广泛应用于沉积高质量SiO薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）等
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（一）等离子发射源VEGA-500 1.输出功率：0-500W± 1%； 2.射频频率：13.56 MHz±0.005% ； 3.匹配：自动； 4.射频接口：50Ω, N-type； 5.噪音：<50 dB； 6.冷却：风冷； 7.电源：AC187-253V, 50/60Hz |
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（二）真空泵机组RV3 1.采用进口爱德华真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 3.管内真空可达10E-2 Torr； 4.防腐型进口英富康数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换。 |
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（三）质量流量计D07-26 1.四个精密的质量流量计 ：数字显示，自动控制； 流量范围： 2.MFC 1范围：0-100 sccm； 3.MFC 2和3范围：0-200 sccm ； 4.MFC 4范围：0-500 sccm ； 5.一个混气罐，底部装有泄废液口； 6.四个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体； 7.进气口：4个1/4NPS； 8.出气口：4个 1/4NPS。 流量控制：手动旋转式调节 连接方式：双卡套连接 |
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（四）管式炉 1.管式炉采用含钼电阻丝为加热元件，加热区域：双温区，每个温区300mm，炉管长度Φ80mmX1600mm，滑轨式设计，可实现快速降温和升温； 2.加热温区分为两个温区，加热更均匀，采用多段程序控温，两个温控系统单独控温，控温精度高； 3.配有水冷法兰，降低硅胶圈周围的温度，防损坏 加热形式： 含钼电阻丝 4.加热功率： <6KW（以实际功率为准） 5.电源电压： 220V，50Hz 6.炉管尺寸： Φ80mmX1600mm 7.加热区域： 双温区 两个温区长度分别为300mm 8.控温精度： ±1℃ 9.炉体结构：炉体带滑轨可实现快速升温，降温 10.温控形式：两个温控表单独控温，控温精度高8.出气口：4个 1/4NPS。
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