真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
高低温真空探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
技术参数；
|
真空腔体 |
||
|
类型 |
高温型室温到400℃ |
高低温型 室温到400℃ 室温到-190℃ |
|
腔体材质 |
6061铝合金 （304不锈钢可选） |
|
|
腔体内尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
|
|
腔体外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
|
|
腔体重量 |
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG |
|
|
腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
|
|
腔体抽气口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
|
|
腔体真空测量口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
|
|
腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
|
|
腔体冷却方式 |
腔体水冷+上盖气冷 |
|
|
腔体水冷接口 |
6mm快拧 或 6mm快插 |
|
|
腔体正压 |
≤0.05MPa |
|
|
腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
|
|
样品台 |
||
|
|
||
|
样品台材质 |
不锈钢 |
|
|
样品台尺寸 |
26x26mm |
|
|
样品台加热方式 |
电阻加热 |
电阻加热 液氮制冷 |
|
样品台-视窗 距离 |
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） |
|
|
样品台测温传感器 |
PT100型热电阻 |
|
|
样品台温度 |
室温到400℃ |
室温到400℃ 室温到-190℃ |
|
样品台测温误差 |
±0.5℃ |
|
|
样品台升温速率 |
高温100℃/min 最大值 低温7℃/min |
|
|
温控仪 |
||
|
温度显示 |
7寸人机界面 |
|
|
温控类型 |
标准PID温控 +自整定 |
|
|
温度分辨率 |
0.1℃ |
|
|
温控精度 |
±0.5℃ |
|
|
温度信号输入类型 |
PT100 （可选K S B型热电偶） |
|
|
温控输出 |
直流线性电源加热 |
直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
|
辅助功能 |
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 |
|
|
温控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
|
|
温控器重量 |
约5.6KG |
|
|
可扩展电学测试 |
||
|
探针 |
||
|
电信号接头 |
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
|
|
电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
|
|
探针数量 |
4探针（可扩展5探针） |
|
|
探针材质 |
镀金钨针 （其他材质可选） |
|
|
探针尖 |
10μm |
|
|
手动探针移动平台 |
||
|
X轴移动行程 |
20mm ±10mm（需手动推动滑台） |
|
|
X轴控制精度 |
≥500μm |
|
|
R轴移动行程 |
120° ±60°（需手动旋转探针杆） |
|
|
R轴控制精度 |
≥500μm |
|
|
Z轴移动行程 |
2mm ±1mm |
|
|
Z轴控制精度 |
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） |
|
898995850
