磁控溅射多弧离子复合镀膜设备-鼎利镀膜设备
磁控溅射多弧离子复合镀膜设备-鼎利镀膜设备
用途：
主要特点:
基本参数：
镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/
真空蒸发镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/zfzkdm/
卧式全自动镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/wsqzddm/
车灯保护膜镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/cdbhdm/
立式自动镀膜机：http://www.dlvacuum.com/lsqzddmsb/
磁控溅射多弧离子复合镀膜设备【厂家信息】
温州市瓯海鼎利真空设备有限公司
地址：温州市娄桥镇东耕吹台西路4至1号
电 话：0577-86298339
传 真：0577-86757708
手机：13968838108
邮 箱：506924908@qq.com
网址： http://www.dlvacuum.com/ http://www.ohdl.cn/
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磁控溅射PVD镀膜，氮化钛（TiN）、氮碳化钛（TiCN）、氮化锆（ZrN）、氮化铬（CrN）、氮化铝钛（TiAIN）、碳化钛（TiC）等
基材：不锈钢,锌合金,塑料
应用：手机外壳，MP3外壳，数码相机外壳，各种标牌的装饰改性加硬镀膜
颜色：白色，金色， 银色， 黑色 ， 兰色等
侧面双开门结构, 便于装片和换靶
独特设计预溅射挡板,工艺控制简便,节省时间
独特设计的充气和抽气系统, 有效镀膜区宽
专业脉冲偏压非平衡对靶中频磁控溅射技术,镀膜质量稳定
采用PLC工控机控制, 可实现设备和工艺手动和自动控制, 多重泵阀水电互锁互保护
安装采用全程四极质谱监控和氦质谱检漏, 真空密封性好, 设备工艺稳定可靠
转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠
所有零部件采用国内外知名厂家, 电器元件采用进口或合资企业产品, 设备长期运行可靠稳定.
1. 真空室尺寸：1210mm（直径）×1200mm（高）；
2. 抽气时间速：大气到5×10-3Pa≤20min (空载, 冷态,洁净)；极限真空：优于1×10-3Pa；
3. 最高烘烤温度:300℃
4. 采用侧面对开门方式,便于工件装卸；
5. 2台φ400mm口径分子泵、1台ZJP300型罗茨泵， 2台2X-70型机械泵抽气；
6. 一套公、自转工转机构，采用下驱动方式的二维平面行星机构；自转轴20根；
7. 四对磁控溅射靶平行安装且成圆周分布，靶材尺寸：910mm×120mm（长×宽）；
8. 4路进口质量流量计进气；
9. 三台30KW中频电源及一台30KW脉冲偏压电源；
10. 控制系统采用触摸屏上位机（工控机）+下位机（PLC）的控制形式，控制系统有手动和自动，全系统具有互保护, 泵阀互锁。
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