激光共聚焦显微镜
工业激光共焦显微镜提供全新的3D形貌分析方案卓越的测量更大的样品范围轻松检测85#176;工业激光共焦显
微镜尖锐角采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能最大限度发挥405 nm 激光性能），工业激光
共焦显微镜可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。由于采用405 nm
的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进
行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅
第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。
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