Polycold 冷冻机|上海伯东
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数：
标准性能
最大功率：Watts
4000
最大抽速(理论值)：l/s
327,800
保守抽速：l/s
220,000
极限工作压力：mbar
7 x 10-8
最大启动压力：atm
1
除霜时间：分钟
5.5
低温盘管,连接管路
低温表面面积：m2
2.2
单管路：
双管路：
标准冷凝管长度：m
2.44
配套设施
冷却水流量：rate l/min.
29C?
工作噪音(最大)：db
78
占地空间(最小)：m3
34
重量：kg
533
美国 Brooks 旗下 Polycold ® 冷冻机(水汽深冷泵)，超过40年的冷冻机设计制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空，适用于收集高真空腔体内残余水汽和油气并显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于光驰、欧瑞康、Applied 等镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区唯一指定总代理，全权负责 Polycold 销售和售后维修服务。
上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
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上海伯东代理的美国 Brooks 旗下 Polycold ® MaxCool 4000 H 水汽深冷泵有效地捕捉占高真空腔体内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 系列冷冻机为闭环低温制冷系统，制冷功率最高 4000W。Polycold 冷冻机利用低温盘管原理，将水蒸气凝固在一个冷表面上。MaxCool 深冷机也可用于冷却和加热物件(例如半导体晶圆处理中使用的静电夹头)，目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和镜片镀膜行业，客户通过使用 MaxCool 水汽深冷泵，产能可增加 20% 到
100%，并显著提高沉积膜质量。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和双管路配置满足客户不同应用，可搭配伯东德国 Pfeiffer
分子泵，罗茨泵，干泵共同使用。冷冻机 Polycold ® MaxCool 4000 H 是旧款型号单管路 PFC-1102 HC、双管路 PFC/PFC-1102 HC 全新升级款！~
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵优点：
高真空抽气时间缩短 75%
高速水蒸气抽除能力：工作区间内 10,000 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到 100%
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力，从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷的麦纳斯冷却器其表现出更优越的性价比
低功率，低能耗
低温管直径：mm
低温管长度：m
16
43
低温管直径：mm
低温管长度：m
16
21.9
13C?
26C?
13.6 (3.6)
27.3 (7.2)
54.1 (14.3)
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508
ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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