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为适应工业环境使用，与一般控制装置相比较，PLC机有以下特点：
1. 可靠性高，抗干扰能力强
工业生产对控制设备的可靠性要求：
①平均故障间隔时间长
②故障修复时间（平均修复时间）短
任何电子设备产生的故障，通常为两种：
①偶发性故障。由于外界恶劣环境如电磁干扰、超高温、超低温、过电压、欠电压、振动等引起的故障。这类故障，只要不引起系统部件的损坏，一旦环境条件恢复正常，系统也随之恢复正常。但对PLC而言，受外界影响后，内部存储的信息可能被破坏。
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Varian Source Control Assembly, R-F Source, 698633-01
Luxtron 5001-1221-00-00, single channel linear array OPTICAL, XINIX
MKS Tenta Single Board Computer AS03720-23, AMAT 0190-24007 CPCI-3720
Tylan general AC-2 Adaptorr AC-2 adaptive pressure controller
MKS baratron 622A11TBE, 10 torr with
AMAT 0226-09937 and AMAT 0226-09677 Pump Dist PCB
SVG 99-80267-01 Shuttle interface PCB
AMAT 0150-13088 cable assy 50FT VHP tran resolver controller to mainframe
Silicon Thermal Power cool LB300 chiller with dual power outputs
Millipore BA3375KEH000, MFC 500 sccm, NF3 gas
Millipore BA33753CR000, MFC 100 sccm, CHF3 gas
AMAT Robot End effector 0020-84290 REV 003
kollmorgen servodisc motor 00-50669-020
Stec MFC SEC-4400MC, Ar 500 SCCM, with .
AMAT 0020-22153 Counter balance, magnet source
PureDigital Mass Flow Controller 6256, WF6, lots of 2
UltraGlo vacuum general UV2-11 & UC2-31S01, N2
Unit Instruments URS-100-5, 5 chnnel MFC controller
Pfeiffer TCP 015 Vacuum Turbopump Controller PM C01 598, looks and clean
Millipore MFC, FC-2900V, BA3375KEH000, 500 SCCM, NF3 gas
Millipore MFC, FC-2900V, BA33753BE000, 100 SCCM, CF4 gas
Novellus 02-140949-00 REV C Main system start stop module
MKS baratron 626A-23861, 0.1 Torr Range, S6113
Chemraz greene tweed 9383-SC513 Oring 2-383 compound 513, 78-2766
Novellus 02-140949-00 Main system start-stop module , S 1009
AMAT 0200-10183 Bias Plug, Quartz Lowered Cathode
Aera MFC FC-7820C, N2 gas, 100 SLM gas range, S1070, NOV 22-133312-00
Chart Recorder Fuji recorder, LFE controllers
Lambda Power Supply Unit Alpha 1000W H11089 OEM BOX
MKS MFC type 649, 649A-27928, He 100 SCCM with .
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