双模式三维形貌仪
三维形貌仪的详细资料：
三维形貌仪特点：
双模式三维形貌仪特点是集合了共焦光学形貌仪，WLI白光干涉形貌仪，原子力显微镜，接触和非接触式双模式表面形貌检测
三维形貌仪参数：
三维形貌仪特点参数说明
1、双模式三维形貌仪特点——共焦
可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。
使用高数值孔径(0.95)以及高倍数的(150X)3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析(最大斜率<干涉测量>:72ovs44o)。
具有光学形貌上最高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。
在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%-100%)
应用于透明层/薄膜。
兼容亮视野&暗视野;光学DIC。
长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。
独有的稳定性。
2、双模式三维形貌仪特点——干涉仪（WLI）
Z向高分辨率,亚纳米级
兼具相移（PSI）以及垂直扫描（VSI）模式
Z向分辨率可独立放大
四色CCD相机，用户可自选的LED光源(白光，绿光，蓝光和红光)
高达五百万像素的可自动分辨的CCD相机
快速处理器在业界位于领先水平
自动对焦
3、双模式三维形貌仪特点——原子力显微镜
探针扫描可用于大型模板
X,Y,Z三向可达原子级分辨率
大压电探针扫描XY:达到110x110um
4、双模式三维形貌仪特点——变焦
粗糙度表面分析
快速分析
特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪高精度原子力显微镜
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