供应真空镀膜
1、机械泵:抽速0.5（升／秒）,极限真空0.06（帕）,转速：1400（转／分）
2、油扩散泵: 三级油扩散泵内60升/秒;极限压强是1×10-5 Pa
3、外形：钟罩式（内径300mm）
4、蒸发方式：电加热；电子束蒸发
5、基片旋转电机驱动
6、控制方式：手动/自动
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