A2T-12C绿光平面微粒子检测机
相较于无尘室泛用落尘监控设备（Particle Counter）只能于单位空间检测出环境落尘品质（Class/1000/1000/100）,却无法精确了解Particle落尘何处的缺点，这将对制程良率有着威胁性的影响，透过A2T Particle探测设备之照射而产生的效果，能轻易的找出目标物Particle落点处来强化制程品质以提升产品良率，抑或检测出生产设备上的落点处，透过无尘布等擦拭能有效率的提高制程良率。
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