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（二）MEMS技术助推光泵原子磁力仪的发展光泵原子磁力仪是一种总量式磁传感器，其基本原理是利用光泵作用激发封闭腔内碱金属气态原子处于自旋一致的进动状态，在外磁场作用下原子自旋进动频率产生线性变化，通过光探测器检测光谱频移来获得被测磁场。光泵原子磁力仪的分辨力也可达1fT/sqr(Hz)（@1Hz），与SQUID相当。光泵原子磁力仪的性能主要取决于密封腔内碱金属原子自旋态的一致程度。目前，大多数光泵原子磁力仪的体积和重量都较大，价格昂贵，在应用上受到较大限制， 而将光泵原子磁力仪小型化成为一种极具吸引力的方向。美国国家标准及技术研究院（NIST）成功地利用MEMS技术研制出了一种毫米级的光泵原子磁力仪， 有效地降低了体积和成本。 但因其密封腔体积很小，可灌注碱金属量较少，造成磁场分辨力下降，约为 6pT/sqr(Hz)（10Hz-1kHz频带内）。可喜的是，一种称之为“自旋交换-释放自由”（SERF） 的新机制正被用于MEMS光泵原子磁力仪来提升自旋一致性， 使磁场分辨力大幅提升至几十 fT/sqr(Hz)（@1Hz）。虽然目前只能在极弱磁场 条件下形成SERF机制，但它的出现本身就具有重要意义， 开辟了一条实现高性能MEMS光泵原子磁力仪的可能途径。
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