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RTP快速退火炉 

  • 价 格: 面议 /
  • 供 应 地:河南省郑州市
  • 发布公司:郑州成越科学仪器有限公司
  • 产品型号:CY-R1000-100IT
  • 品 牌:成越科仪
  • 发布日期:2014/7/9 16:44:50
  • 联系人QQ:2388619058 点击这里给我发消息

详细说明

产品说明Explain

公司简介Content


RTP快速退火炉的主要技术参数如下  
加热元件:卤素电极;  
电极数量:12支;
整机功率:7.2KW;
升温速率:200℃/Second;
降温速率:30秒(1000℃  →  400℃);
最高温度:1100℃;
温度精度:+/-  1℃;
最大样品尺寸:4英寸;
气氛环境:真空、气体(氮气、氩气、氧气)、空气;
真空系统:可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵
应用领域:
-快速热退火  
  -  快速热氧化  
-  快速热氮化
  -  硅化  
-  扩散  
-  化合物半导体退火  
-  离子注入后退火
-  电极合金化
-  晶向化和坚化  
-  合金熔点分析;
-  薄膜沉积;    等等…

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郑州成越科学仪器有限公司

  • 联系人:郑祥攀(销售经理)
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  • 会员级别:免费会员
  • 认证类型:未认证
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  • 主营产品:管式炉 箱式炉 结晶炉 石墨烯 CVD系统 粉末压片机 实验室电炉 真空管式炉 氧化锆烧结炉 牙科炉 微波烧结炉 真空手套箱 PECVD 立式管式炉 等离子清洗机 马弗炉
  • 公司所在地:河南省郑州市