石英坩埚小型台式真空磁控溅射仪离子溅射仪金属镀膜机_小型溅射仪

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1、所需配套设备：小型溅射仪，水冷机，真空泵，高纯氩气

2、配套设备安装准备工作

水冷机：（此设备为选配配件）本公司配备水冷机型号 JZ-3000.进出水口接口为 6mm 快插接头，配套 6 米透明 PU 管，外径 6mm 内径 4mm 加水 6 升。建议加入纯水、去离子水，如没有条件加入自来水也可。

若自行准备水冷机，请匹配合适接头

安装方法：将设备背面进出水口连接设备背面进水口，公司标配 6m 透明 PU 管，可根据现场实际情况进行裁剪。（设备背面接口无进出水口之分，可任意接）

真空泵：（此设备为选配配件）本公司所配备的是 8m3/h（2.2L/s），KF25 标准接口，及 1200mm 长波纹管。

若自行配备真空泵，请匹配合适大小接头及波纹管

安装步骤

把加油口打开，并将随货的一壶油全部倒入加油口（油量会超过刻度，属正常现象），将出气口打开，可根据现场实际情况自行安装油雾过滤器或者出气管道排到室外或者通风橱。注：出气口需保持畅通状态，不可堵塞进气口连接波纹管，与溅射仪左侧真空挡板阀连接。

高纯氩气：小型溅射仪工作中需要用到高纯氩气，所以需要自行准备高纯氩气。本公司配备的管道为外径 6mm 内径 4mm 聚四氟管道，请匹配合适的减压阀及进气接头。设备进气压力为不大于 0.1MPa。

设备安装及准备工作：

将白色聚四氟管道如上图安装至设备背面进气口，并用扳手锁紧

配件安装：

靶材：直径 2 英寸，厚度 0.3mm-3mm

靶材的安装：

先分别取下屏蔽罩、靶材压环、靶材，将需要的靶材和靶材压环紧紧贴住，用 3 颗螺丝错开锁紧压环，拧上屏蔽罩。屏蔽罩距离靶材压环距离 3mm 左右，

不可将屏蔽罩与靶材压环接触，以免造成设备短路

安装基底：

分别取下玻璃罩和样品台，将衬底固定到样品台上，固定好的样品水平放置在基底座上面，并且三个齿轮要相互咬合，最后放好玻璃罩，盖好上盖。

使用前检查：

1、检查水箱里面是否有水打开冷水机电源，检查水冷接口是否连接好，观察有没有漏水的现象（正常情况不漏水一个月检查一次）

2、真空泵的油箱值是否在 min 和 max 之间（油有没有发黄，发黄说明油有杂质需要刚换），

3、氩气压力值是否在 0.1MPa 以下，

4、打开溅射仪电源，点击挡板打开按键，观察腔体内样品台是否旋转顺畅，如有卡顿及时按下挡板复位按键。

溅射流程：溅射操作前一定要打开水冷

顺时针关闭气体调节阀和放气阀，旋转真空泵手柄至最大值，打开真空泵开关，视线关注触摸屏上的真空度是否有变化，如果无变化，将手往下压住腔体密封上盖（不要用力过大），再查看真空度直到下降至 2Pa 以下，旋钮气体调节阀到稳定到 4Pa 左右，并保持 5 分钟使腔体内部充满氩气，开始溅射。

手动模式：设置样品台转速在 0-8r/min，若不需要旋转可设置为 0，点击挡板复位按钮，使挡板遮挡基底。设置溅射电流，时间需要自己计时，溅射完成后，点击停止运行，并点击挡板停止旋转（此时不需要挡板复位）。如果想自己探索

溅射速率，及时记下溅射电流、电压、功率和时间。

自动模式：预溅射 1：清除靶材上的杂质。预溅射 2：升温，稳定电流设置预溅射时间和电流（T1 和 T2），然后设置沉积的时间和电流（T3）

溅射电流根据靶材不同设置电流不同，观察溅射电压和溅射功率的值，溅射电压通常在 315V 以上，溅射效果在 330V-340V 范围内。（若电压上不去，

可将靶材拆下，用细砂纸打磨靶材背面和溅射靶材座，使他们良好接触（时间长

会氧化））

界面操作完成后，先关闭气体调节阀和真空泵手柄，再逆时针旋转放气阀，平衡内外气压，打开玻璃罩上盖，取出样品台，拿下样品。关闭水源、真空泵、溅射仪，最后关闭电源总开关。

石英坩埚小型台式真空磁控溅射仪离子溅射仪金属镀膜机

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