晶圆键合机可自动完成晶圆键合Wafer Bonding工艺
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- 供 应 地：广东省深圳市
- 发布公司：深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
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- 发布日期：2022/5/18 15:48:26
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详细说明
晶圆键合机可自动完成晶圆键合Wafer Bonding工艺
晶圆键合机Wafer Bonding特点：
4”-8”/8”-12”晶圆适用，支持极薄化晶圆的键合。
可选真空热压/UV/激光等键合方式
键合机智能测绘料篮内晶圆，兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。
键合机支撑晶圆、产品晶圆进行自动对准。
晶圆键合机可自动完成晶圆键合（Wafer Bonding)工艺。
可选配晶圆键合后的在线检测功能。
工控机+WINOOWs系统
SECS/GEM 或简易联网能力
晶圆键合机Wafer Bonding规格：
品名 Wafer Bonding（晶圆键合机）
键合晶圆尺寸 4”-8”/8”-12”
支持体基板 玻璃
键合装置：真空热压/UV/激光 定制
粘贴装置 搭载
晶圆盒形式 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料
其他 SECS/GEM 或简易联网能力
了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_bonding_debonding/
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