5D/6D激光干涉仪是API的产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明，节省时间可达80%。该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉仪和6维传感器组成，从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经锥角反射棱镜反向后返回干涉仪与参考光束相干产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子记数，记录长度位移。第二束光用作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装在传感器内的横向疚光电二级管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差（俯仰角和偏摆角）。为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降低到小，从而保证测量仪的长期稳定性。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到小。 技术参数： 5D/6D标准型： 1. 线性：0.5ppm 2. 测量范围：40米（1D可选80米） 3. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值 4. 大范围：800角秒 5. 滚动角精度：1.0角秒 6. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值 7. 大范围：500um 8. 垂直度精度：1角秒 9. 温度：0.2摄氏度 10.湿度：5% 11.压力：1mmHg 5D/6D精密型： 1. 线性：0.2ppm 2. 测量范围：25米 3. 偏摆角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%显示较大值 4. 大范围：400角秒 5. 滚动角精度：0.5角秒 6. 直线度精度：（0.5+0.1/m）um或1%显示较大值 7. 大范围：300um 8. 垂直度精度：0.5角秒 9. 温度：0.1摄氏度 10.湿度：3% 11.压力：0.3mmHg
API激光干涉仪https://www.chem17.com/st338929/erlist_1506416.html
http://www.festoshanghai.com/SonList-1506416.html
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