7134_ADT切割机/Dicing(多角度)
- 价 格:
面议 /
- 供 应 地:广东省深圳市
- 发布公司:深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
- 产品型号:7134
- 品 牌:ADT
- 发布日期:2022/3/15 11:16:20
- 联系人QQ:2237319338

详细说明
7134_ADT切割机/Dicing(多角度)
7134多角度切割机拥有 4" 高功率空气轴承主轴,30krpm时2.5KW。直流无刷电机,闭环速度控制。覆盖 12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘(不带框架)。
系统配有闭环转向台,针对多角度切割进行优化,适用各种产品,例如:
·陶瓷基板
·氧化铝
·混合物
·厚膜设备等
ADT切割机/Dicing 7134系统规格:
大面积系统配置:300mm x 300mm
刀片尺寸:4"-5"
主轴:空气轴承,直流无刷,30 krpm/2.5 kW
分度轴(y)
驱动装置:滚珠轴承丝杆,配步进电机
控制:线性编码器
分辨率:0.2 μm
累积精度:1.5 μm
分度精度:1.0 μm
传送轴(X)
气动滑块
驱动装置:滚珠轴承丝杆,配直流无刷电机
传送速度:高达 600 mm/sec
切割深度轴(z)
驱动装置:滚珠轴承丝杆,配步进电机
分辨率:0.2 μm
精度:2.0 μm
重复精度:1.0 μm
行程:50 mm
旋转编码器
Z线性编码器 - 可选件
Z间隙高达3" - 可选
旋转轴
驱动:闭环、直接驱动、直流无刷
精度:4 arc-sec
重复精度:4 arc-sec
行程:350度
了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_dicer/
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