技术参数；
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真空腔体 |
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类型 |
高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境） |
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腔体材质 |
6061铝合金 |
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腔体内尺寸 |
147mmX72mmX22mm |
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腔体外尺寸 |
170mmX95mmX37mm |
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腔体重量 |
约1.1KG |
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腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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腔体抽气口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体真空测量口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
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腔体冷却方式 |
腔体水冷+上盖水冷 |
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腔体水冷接口 |
6mm快拧 或 6mm快插 |
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腔体正压 |
≤0.05MPa |
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腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
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样品台 |
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样品台材质 |
高温绝缘陶瓷 |
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样品台尺寸 |
26x26mm |
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样品台加热方式 |
电阻加热 |
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样品台-视窗 距离 |
13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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样品台测温传感器 |
S型热电偶 |
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样品台温度 |
室温到1000℃ |
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样品台隔热材料 |
金属屏蔽+陶瓷隔热 |
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样品台测温误差 |
±1℃ |
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样品台升温速率 |
高温100℃/min 最大值 |
898995850
